日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

產(chǎn)品簡介：

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息特長薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測儀藉由反射率光譜分析膜厚完整繼承FE-3000機(jī)種90%的*功能無復(fù)雜設(shè)定，操作簡單，短時(shí)...

產(chǎn)品型號：

更新時(shí)間：2026-02-27

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：545

服務(wù)熱線

19938139269（馬經(jīng)理）

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

日本大塚Otsuka

膜厚測試儀

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產(chǎn)品介紹

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（第4834847號）

● 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設(shè)備。

● 實(shí)時(shí)測量膜厚

● 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

測量項(xiàng)目

多層膜厚解析

用　途

光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）

設(shè)備構(gòu)成

單點(diǎn)型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點(diǎn)型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實(shí)時(shí)測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導(dǎo)線型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實(shí)時(shí)測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

設(shè)備構(gòu)成

單點(diǎn)型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點(diǎn)型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實(shí)時(shí)測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導(dǎo)線型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實(shí)時(shí)測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

核心特點(diǎn)：

微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動(dòng)XY平臺（200×200mm），實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì)，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。
安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制，獨(dú)立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。

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